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发明名称 Herstellverfahren für eine Halbleiterstruktur
摘要
申请公布号 DE19844102(C2) 申请公布日期 2000.07.20
申请号 DE19981044102 申请日期 1998.09.25
申请人 SIEMENS AG 发明人 CLAUSSEN, WILHELM;LORENZ, BARBARA;PENNER, KLAUS;VOGT, MIRKO;SPERLICH, HANS-PETER
分类号 H01L21/308;H01L21/311;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/308;H01L21/823 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
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