| 发明名称 |
Negative working chemical amplification type resist compositions |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0013256(D0) |
申请公布日期 |
2000.07.19 |
| 申请号 |
GB20000013256 |
申请日期 |
2000.05.31 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/004;G03F7/038 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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