发明名称
摘要
申请公布号 JP3065380(B2) 申请公布日期 2000.07.17
申请号 JP19910147323 申请日期 1991.06.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;G01B11/06;G01B11/22;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址