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发明名称
摘要
申请公布号
JP3065380(B2)
申请公布日期
2000.07.17
申请号
JP19910147323
申请日期
1991.06.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;G01B11/06;G01B11/22;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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