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发明名称
摘要
申请公布号
JP3066654(B2)
申请公布日期
2000.07.17
申请号
JP19900321311
申请日期
1990.11.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L31/107;(IPC1-7):H01L31/107
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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