发明名称 A DEVICE TO ELEVATE LOADING PLATE IN THE HORIZONTAL-TYPE HANDLER
摘要
申请公布号 KR200188473(Y1) 申请公布日期 2000.07.15
申请号 KR19980006126U 申请日期 1998.04.17
申请人 MIRAE CORPORATION 发明人 KIM, DU CHUL
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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