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发明名称
Verfahren zur Steuerung von Prozeßgasen für Beschichtungsanlagen und Beschichtungsanlage zu seiner Durchführung
摘要
申请公布号
DE4233512(C2)
申请公布日期
2000.07.13
申请号
DE19924233512
申请日期
1992.10.06
申请人
BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG
发明人
ZEJDA, JAROSLAV;CORD, BERNHARD
分类号
C23C14/00;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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