发明名称 Integrated circuit capacitor having a conductive trench
摘要
申请公布号 EP0735595(B1) 申请公布日期 2000.07.12
申请号 EP19960103290 申请日期 1996.03.04
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 SAKAMOTO, KURT K.;TRACHT, NEIL T.;PRYOR, ROBERT A.
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;(IPC1-7):H01L29/92 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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