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发明名称 Verfahren und Gerät zum Entwurf des Layouts von integrierten Millimeterwellen oder Mikrowellenschaltungen
摘要
申请公布号 DE69327636(T2) 申请公布日期 2000.07.06
申请号 DE19936027636T 申请日期 1993.10.07
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 TANINO, NORIYUKI;SASAKI, YASHINOBU
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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