发明名称 A CONTROLLED CLEAVAGE PROCESS
摘要
申请公布号 EP0995227(A4) 申请公布日期 2000.07.05
申请号 EP19980924756 申请日期 1998.05.11
申请人 SILICON GENESIS CORPORATION 发明人 HENLEY, FRANCOIS, J.;CHEUNG, NATHAN, W.
分类号 H01L21/265;B26D3/28;B26F3/00;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/304;H01L21/425;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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