| 摘要 |
<p>Die Erfindung zeigt eine Vorrichtung zur Ermittlung der räumlichen Verteilung von Eigenschaften einer insbesondere heterogenen Probe (1), bestehend aus: einem Mikroskop (2), welches eine Steuerung (21) aufweist, zur dreidimensionalen Erfassung der Topographie zn(x,y) der Oberfläche n einer Probe (1), einer Sonde (3), welche eine Steuerung (31) aufweist, zur ortsaufgelösten Erfassung einer oder mehrerer Eigenschaften Pj der Probe (1) auf der Topographie zn(x,y) der Oberfläche n, einer Abtragvorrichtung (4), beispielsweise einer Vorrichtung zum Plasmaätzen, zum Ätzen mit reaktiven Gasen oder Flüssigkeiten, oder zum chemomechanischen Polieren, welche eine Steuerung (41) aufweist und mittels welcher in einem Abtragvorgang An,n+1 eine Schicht von der Oberfläche n der Probe (1) abgetragen werden kann, einer computergestützten Bildverarbeitungsvorrichtung (6), welche dazu ausgerüstet ist, aus einer vom Mikroskop ermittelten Folge von Oberflächentopographien zn(x,y) bis zn+m(x,y) und den auf diesen Topographien erfaßten Eigenschaften Pj(zn(x,y)) bis Pj(zn+m(x,y)) ein dreidimensionales Abbild der Probe zu erzeugen.</p> |
