制造有源矩阵器件的方法

摘要

每根数据线的数据保持控制信号提供给并联在一起的多个源极跟随器。并联的源极跟随器是至少一个只用激光照射一次的第一跟随器和至少一个照射两次的第二跟随器的组合。用于结晶的激光照射的宽度等于源极跟随器的间隔乘以一个不小于3的整数。

主权项

1.一种制造有源矩阵器件的方法，所述器件具有一个由薄膜晶体管矩阵构成的有源矩阵电路和一个给所述有源矩阵电路提供信号的源极驱动电路，该驱动电路至少包括多个沿第一方向以间距d排列的模拟缓冲器，所述方法包括下列步骤：在整个基底上形成半导体膜；用光束照射所述半导体膜，其中在所述半导体膜表面处的横截面在正交于所述第一方向的第二方向上伸长；用光束沿第一方向扫描所述半导体膜，使所述半导体膜晶化；和用所述光束晶化过的半导体膜至少形成所述有源矩阵电路和所述模拟缓冲器；其中光束的所述横截面在第一方向的宽度等于间距d的n倍，这里n为整数。