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发明名称 Belichtungsverfahren für die Herstellung einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE4138999(C2) 申请公布日期 2000.06.21
申请号 DE19914138999 申请日期 1991.11.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 YANO, HIROYUKI;OKANO, HARUO;WATANABE, TOHRU;HORIOKA, KEIJI
分类号 G03F7/00;H01L21/027;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/321 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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