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发明名称 SOLID STATE MICROANEMOMETER
摘要
申请公布号 EP1009974(A1) 申请公布日期 2000.06.21
申请号 EP19990933598 申请日期 1999.06.29
申请人 MEMSYS, INCORPORATED 发明人 GENOVA, PERRY, A.;TSUEI, TIMOTHY, W.
分类号 G01F1/692;B81B1/00;G01F1/684;G01P5/12;(IPC1-7):G01F1/68;G01F13/00 主分类号 G01F1/692
代理机构 代理人
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