| 发明名称 |
Rotary processing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG73489(A1) |
申请公布日期 |
2000.06.20 |
| 申请号 |
SG19980000167 |
申请日期 |
1998.01.23 |
| 申请人 |
MATUSITA MITIAKI;TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
MATUSITA MITIAKI |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):B05C13/02;B08B11/02;B08B5/00 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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