| 发明名称 |
HTDROGEN PLASMA DOWNSTREAM TREATMENT EQUIPMENT AND HYDROGEN PLASMA DOWNSTREAM TREATMENT METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100259220(B1) |
申请公布日期 |
2000.06.15 |
| 申请号 |
KR19980011820 |
申请日期 |
1998.04.03 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
FUJIMURA, SHUZO;OGAWA, HIROKI;KIKUCHI, JUN |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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