发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von Verunreinigungselementen
摘要
申请公布号 DE69422890(T2) 申请公布日期 2000.06.15
申请号 DE1994622890T 申请日期 1994.11.25
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 KOMATSU, FUMIO;MIYAZAKI, KUNIHIRO;SHIMAZAKI, AYAKO
分类号 G01N23/223;(IPC1-7):G01N23/223;G01T1/36 主分类号 G01N23/223
代理机构 代理人
主权项
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