发明名称 METHOD FOR PRODUCING A MATRIX FROM THIN FILM TRANSISTORS WITH STORAGE CAPACITIES
摘要
申请公布号 EP1008179(A1) 申请公布日期 2000.06.14
申请号 EP19980941232 申请日期 1998.06.26
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 GLUECK, JOACHIM
分类号 G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L23/52;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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