具有最小送入送出口的烘焙炉

摘要

在用来烘焙大致平面的制品,譬如半导体基片,LCD(液晶显示器)面板以及集成电路板的烘焙炉里,在以垂直方向移动的百叶门里形成了横向细长的长孔。在炉本体内提供具有多数搁板的架子,该搁板分别与百叶门的长孔相关联,通过适当地确定百叶门的垂直位置,使被架子的各搁板所支持的制品对准百叶门的长孔。这样,通过使炉本体的出入开口的面积达到最小,不但能使能量损失最小化,同时也能使炉本体内部温度不利的起伏变为最小。

主权项

1.一种烘焙炉，用来烘焙大致为平面的制品，所述炉包含：一基架，用于界定上表面；一炉本体，设置在该基架的上表面上，且具有允许出入其内的开放前端；一百叶门，用于关闭该炉本体的开放前端，并配置于该炉本体上以便能沿着该炉本体的该前端垂直移动，该百叶门界定了足以使各制品通过的水平长孔的尺寸；一夹子，放置于炉本体内，并提供多个搁板，当该百叶门置于一对应的垂直位置时，各搁板会对准该长孔；用来垂直移动该百叶门的致动装置；以及用来将制品经由该长孔送入搁板，并经由该长孔从搁板取出制品的送入/取出装置。