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经营范围
发明名称
Verfahren zur Erzeugung eines Musters
摘要
申请公布号
DE69131732(T2)
申请公布日期
2000.06.08
申请号
DE19916031732T
申请日期
1991.03.27
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
KOIZUMI, TAICHI;TANI, YOSHIYUKI;SASAGO, MASARU
分类号
G03F7/004;G03F7/022;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/105;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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