模块集成电路处理机的运载装卸装置

摘要

本发明是将模块集成电路容纳在运载器内并将其在各工序之间运送以进行检验,特别是涉及具备夹持住运载器的一侧使其在各工序之间移动的运载器运送装置,并具备在夹持住运载器的同时将其位置定位的运载器定位装置。其包括运送指定模块的运载器;将其从装载处所运送到卸载处所的运载器运送装置;在装载处所以及卸载处所上将运载器的位置更准确地定位,以使拾取组件可以将浅碟中的模块集成电路准确地装入运载器,或从运载器中卸载的运载器定位装置。

主权项

1.一种模块集成电路处理机的运载装卸装置，其特征在于由以下部分构成：运送指定的模块型的运载器；将上述运载器从装载处所运送到卸载处所的运载器运送装置；和在上述装载处所以及卸载处所上将运载器的位置更准确定位，以使拾取组件将模块集成电路能准确地从浅碟装入运载器，或者从运载器中卸载的运载器定位装置。