自动控制气体混合泵

摘要

一种自动控制气体混合泵,采用配气再反馈装置,预先混合后的气体浓度为100ppm进入储气室,再将气体浓度为100ppm的混合气体与混合底气如空气或氮气在一定压力下经阀1反馈至混合泵2进气口,再次混合输出气体浓度可达1ppm－100ppm,经阀2中1通道输入到用气装置。通过计算机自动控制的调节器调节所混合气体各成分的比例。

主权项

1.一种自动控制气体混合泵，其特征在于采用两台气体混合泵串联与配气反馈装置，泵1[10]和泵2[1]串联运行，经气体混合泵自动控制调节器[6]、[7]、[8]、[9]调节，其中阀1[3]的1开2闭，阀2[4]的1闭2开，混合后的气体浓度为100ppm进入储气箱[13]，再将浓度为100ppm的混合气体在恒定压力下经阀1[3]反馈至泵2[11]进气口与混合底气如空气或氦气在泵2[11]中混合，此时阀2[4]的2闭1开，再次混合后输出气体的浓度可达1ppm-100ppm，经阀2[4]中通道[1]输送到储气溶器[12]或其它用气设备。