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Objektiv mit mehr als 10, insbesondere mehr als 17 Linsen (1-35), korrigiert bei einer Wellenlänge unter 200 nm, enthaltend Linsen (18, 23, 26) aus Quarzglas, dadurch gekennzeichnet, daß die Summe der Brechkräfte der Linsen (18, 23, 26) aus Quarzglas negativ ist. Quarzglas wird also als Flint verwendet. Als Kron dient Fluorid, besonders CaF2, LiF, BaF oder SrF. Refraktive und katadioptrische Reduktions-Projektionsobjektive für 193 nm und 157 nm werden vorgestellt. <IMAGE>
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