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发明名称
摘要
申请公布号
JP3049589(B2)
申请公布日期
2000.06.05
申请号
JP19940227873
申请日期
1994.09.22
申请人
发明人
分类号
C23C14/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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