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发明名称
Electrostatic chuck with improved spacing mask and workpiece detection device
摘要
申请公布号
USD425919(S1)
申请公布日期
2000.05.30
申请号
US00/079585
申请日期
1997.11.14
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
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