METHOD FOR DETERMINING THE THICKNESS OF A MULTI-THIN-LAYER STRUCTURE

摘要

Bei einem Verfahren zum Bestimmen der Dicke wenigstens einer auf einem Substrat vorgesehenen Schicht ergibt sich ein enfacher und zuverlässiger Messaufbau und ein zuverlässiges Messergebnis, wenn Reflexions- und/oder Transmissions-Lichtintensitäts-Werte nullter Ordnung in Abhängigkeit von der Wellenlänge gemessen und die Reflexions- und/oder Transmissions-Lichtintensitäts-Werte unter Verwendung eines Iterationsmodells, das von den einzelnen Schichtparametern zur Herbeiführung einer Übereinstimmung zwischen den gemessenen und berechneten Werten geändert werden, und wobei die Substrate geometrische Strukturen aufweisen, deren geometrische Abmessungen als weitere Parameter des Iterationsmodells verwendet werden. Mit dem erfindungsgemässen Verfahren ist es auch möglich, die Geometrie von Strukturen im Substrat, beispielsweise die Tiefe, Breite und den Wiederholungsabstand von Grooves in einem Rohling für geometrische Speichermedien, wie CDs, zu bestimmen.