干涉仪和采用干涉仪的测量方法

摘要

提供了高精度快速初步与主要测量的干涉仪和方法。激光与白光连续导入同一个干涉仪室。激光从激光源导入,利用CCD与个人机检测以基准镜作为基准的干涉条纹。把干涉条纹置成预置值,调节工件位置。然后导入白光,移动直角移动架,检测以基准镜作为基准的干涉条纹,执行工件的初步测量。再导入激光,检测以基准镜作为基准的干涉条纹,作工件的主要测量。

主权项

1.一种应用激光干涉测量工件尺寸的干涉仪，其特征在，它于包括：激光源，白光源，第一光学组件，用于将来自所述激光源的激光引到工件上和用作激光干涉基准的第一基准表面上，第二光学组件，用于将来自所述白光源的白光引到工件上和用作白光干涉基准的第二基准表面上，工件调节装置，用于调节工件相对于所述第一基准表面的斜率，干涉条纹检测装置，用于检测所述第一光学组件产生的激光干涉条纹和所述第二光学组件产生的白光干涉条纹，以及控制装置，用于控制所述第一与第二光学组件、工件调节装置和干涉条纹检测装置，以便连续执行：应用激光干涉作工件位置调节，应用白光干涉作工件初步测量，及应用激光作工作主要测量。