用于装配微型喷射装置的方法及设备

摘要

一种装配微型喷射装置的方法和一种用于装配微型喷射装置的设备。一加热器片垫片固定在一真空台上,加热器片垫片上形成有多个加热器片,独立于喷射片生产的薄膜与加热器片垫片对准定位,薄膜与加热器片垫片之间保持一定的间隙,将薄膜固定到加热器片垫片上。这样,可避免薄膜在定位和组装过程中过多地移动,从而可预先防止薄膜受到损坏,并且无需使所述薄膜与每一个加热器片对准定位,从而大大地缩短了装配所需的时间。

主权项

1.一种用于装配微型喷射装置的方法，包括下列步骤：利用真空将加热器片垫片固定在工作台表面上，所述加热器片垫片上形成有多个加热器片；在一薄膜上沉积一种粘结剂，并使所述薄膜与所述加热器片垫片对准，所述薄膜与所述加热器片垫片之间保持一预定的间隙；将所述薄膜固定到所述加热器片垫片上；以及使所述加热器片垫片与所述薄膜粘接在一起。