发明名称 |
DEVICE FOR INSPECTING GAS LEAKAGE OF EXHAUST LINE IN VACUUM SUPPLYING SYSTEM |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR200181368(Y1) |
申请公布日期 |
2000.05.15 |
申请号 |
KR19970035644U |
申请日期 |
1997.12.04 |
申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
OH, HYUNG KWAN |
分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|