发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF DE MICRO-ELECTRONIQUE COMPORTANT SUR UN SUBSTRAT UNE PLURALITE D'ELEMENTS INTERCONNECTES
摘要
申请公布号 FR2741475(B1) 申请公布日期 2000.05.12
申请号 FR19950013658 申请日期 1995.11.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 CAILLAT PATRICE
分类号 H01L21/822;H01L21/66;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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