发明名称 Räumlicher Lichtmodulator und seine Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69326299(T2) 申请公布日期 2000.05.11
申请号 DE19936026299T 申请日期 1993.07.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 AKIYAMA, KOJI;TAKIMOTO, AKIO;OGAWA, HISAHITO
分类号 G02F1/135;H01L31/14;(IPC1-7):G02F1/135 主分类号 G02F1/135
代理机构 代理人
主权项
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