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发明名称 Scanning electron microscope
摘要
申请公布号 GB0005717(D0) 申请公布日期 2000.05.03
申请号 GB20000005717 申请日期 2000.03.09
申请人 CAMBRIDGE UNIVERSITY TECHNICAL SERVICES LIMITED 发明人
分类号 G01Q30/02;G01Q30/12;H01J37/244;H01J37/28 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
主权项
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