| 摘要 |
<p>Das passive induktive Element (1) der Anordnung weist wenigstens eine auf einem elektrisch leitenden Substrat (2) aus Halbleitermaterial integrierte Schicht (10) aus elektrisch leitendem Material auf und ist vom Substrat durch eine Schicht (3) aus elektrisch isolierendem Material getrennt. Erfindungsgemäss ist im Substrat eine Aussparung (21) ausgebildet, die in einer von der Oberfläche (20) des Substrats (2) abgekehrten rückseitigen Oberfläche (20') des Substrats (2) eine Öffnung (210) aufweist. Die Anordnung ist besonders einfach und mit hoher Güte herstellbar.</p> |
