| 发明名称 |
A wet processing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG71701(A1) |
申请公布日期 |
2000.04.18 |
| 申请号 |
SG19970001172 |
申请日期 |
1997.04.11 |
| 申请人 |
TECHPOINT PACIFIC (S) PTE. LTD. |
发明人 |
ALEX HUNG CHING-CHANG;TA-HSING FU |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/34;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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