发明名称 APPARATUS FOR CENTERING WAFER OF DEPOSITOR
摘要
申请公布号 KR200177319(Y1) 申请公布日期 2000.04.15
申请号 KR19970031514U 申请日期 1997.11.10
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 SONG, CHANG-HO
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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