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发明名称 FABRICATION PROCESS FOR THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 KR100253971(B1) 申请公布日期 2000.04.15
申请号 KR19960054004 申请日期 1996.11.14
申请人 NEC CORPORATION 发明人 NAKAMURA, KENICHI
分类号 H01L29/786;H01L21/20;H01L21/336;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
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