| 发明名称 |
CONTROL SYSTEM FOR USING WITH SEMICONDUCTOR DEVICE TRANSPORTING AND HANDLING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100252571(B1) |
申请公布日期 |
2000.04.15 |
| 申请号 |
KR19970047868 |
申请日期 |
1997.09.20 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP. |
发明人 |
OGAWA, MASAAKI;TAKAHASHI, HIROYUKI |
| 分类号 |
B65G43/08;B65G49/00;B65G49/07;G01R31/26;H05K13/02;H05K13/08;(IPC1-7):B65G49/07 |
主分类号 |
B65G43/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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