发明名称 APPARATUS FOR WAFER CLEANING
摘要
申请公布号 KR100251874(B1) 申请公布日期 2000.04.15
申请号 KR19930023798 申请日期 1993.11.10
申请人 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 NISI, MITHUO;MIYAJAKI, DAKANORI;MUKAI, EIICHI;GAMIKAWA, YUUJI;DANAKA, YUJI
分类号 B08B11/02;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B11/02
代理机构 代理人
主权项
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