| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100253834(B1) |
申请公布日期 |
2000.04.15 |
| 申请号 |
KR19970016302 |
申请日期 |
1997.04.29 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN SEIJO K.K. |
发明人 |
YOSITANI, MITHUAKI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;B08B3/04;G02F1/1333;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
