| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Gasspülung eines zylindrischen Reaktors |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69606969(D1) |
申请公布日期 |
2000.04.13 |
| 申请号 |
DE19966006969 |
申请日期 |
1996.11.05 |
| 申请人 |
MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. |
发明人 |
HANLEY, THOMAS M. |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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