发明名称 PHOTORESIST DEVELOPER AND METHOD OF DEVELOPMENT
摘要
申请公布号 EP0991983(A1) 申请公布日期 2000.04.12
申请号 EP19990915321 申请日期 1999.04.07
申请人 ETEC SYSTEMS, INC. 发明人 TAN, ZOILO, CHENG, HO
分类号 G03F7/30;G03F7/32;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
主权项
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