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发明名称
PHOTORESIST DEVELOPER AND METHOD OF DEVELOPMENT
摘要
申请公布号
EP0991983(A1)
申请公布日期
2000.04.12
申请号
EP19990915321
申请日期
1999.04.07
申请人
ETEC SYSTEMS, INC.
发明人
TAN, ZOILO, CHENG, HO
分类号
G03F7/30;G03F7/32;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/32
主分类号
G03F7/30
代理机构
代理人
主权项
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