发明名称 A process for fabricating a device using an ellipsometric technique
摘要
申请公布号 EP0653621(B1) 申请公布日期 2000.04.12
申请号 EP19940308068 申请日期 1994.11.02
申请人 AT&T CORP. 发明人 BLAYO,NADINE;IBBOTSON, DALE EDWARD;LEE, TSENG-CHUNG
分类号 G01J4/00;G01N21/21;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01J4/00
代理机构 代理人
主权项
地址