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发明名称 THE COATING METHOD FOR PREVENTING DIFFUSION
摘要
申请公布号 KR100249828(B1) 申请公布日期 2000.04.01
申请号 KR19970047574 申请日期 1997.09.18
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 KIM, WOUN TAE;JUN, CHI HUN;PAEK, JONG TAE
分类号 C23C14/58;C23C28/00;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):C23C14/58 主分类号 C23C14/58
代理机构 代理人
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