发明名称 Cryopump with selective condensation and defrost
摘要
申请公布号 GB0002961(D0) 申请公布日期 2000.03.29
申请号 GB20000002961 申请日期 1998.07.23
申请人 HELIX TECHNOLOGY CORPORATION 发明人
分类号 F04B37/08;F04B37/16 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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