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发明名称
摘要
申请公布号	JP3026504(B2)	申请公布日期	2000.03.27
申请号	JP19900270893	申请日期	1990.10.09
申请人		发明人
分类号	F04F9/06;B01D8/00;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):B01D8/00	主分类号	F04F9/06
代理机构		代理人
主权项
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