| 主权项 |
1.一种供使产品沿一路径移动之用于净室之可滑动滚轮运送器,包含:第一许多滚轮轴,在路径之至少一部份下面延伸;第一许多可滑动滚轮,由该等第一滚轮轴所驱动;一第一驱动机构,供驱动该等第一滚轮轴;该第一驱动机构之第一包壳,界定一第一封闭容积;以及一抽空器,供自封闭容积除去空气及颗粒。2.如申请专利范围第1项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第一包壳包括一滚轮轴密封,包含一第一片及一第二片,该第一片及第二片具有弹性。3.如申请专利范围第2项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第一片或第二片之一包括一凹部,并且该第一包壳包括一肋条,该肋条被容纳在凹部内,供使第一片或第二片保持在定位。4.如申请专利范围第2项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第一滚轮轴具有中心线,并且该第一片及第二片约在包含第一滚轮轴之中心线之平面彼此邻接。5.如申请专利范围第4项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第一驱动机构包括一附着至至少第一滚轮轴之一之皮带轮,及一供驱动该皮带轮之皮带轮皮带。6.如申请专利范围第4项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第一驱动机构包括一附着至至少第一滚轮轴之一之链轮,及一供驱动该链轮之链。7.如申请专利范围第1项之用于净室之可滑动滚轮运送器,另包含:第二许多滚轮轴,在路径之至少一部份下面延伸;第二许多可滑动滚轮,由该等第一滚轮轴所驱动;一第二驱动机构,供驱动该等第二滚轮轴;以及该第二驱动机构之第二包壳,界定一第二封闭容积。8.如申请专利范围第7项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第二包壳包括一滚轮轴密封,包含一第三片及一第四片,该第三片及第四片具有弹性。9.如申请专利范围第8项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第三片或第四片之一包括一凹部,并且该第二包壳包括一肋条,该肋条被容纳在凹部内,供使该第三片或第四片保持在定位。10.如申请专利范围第8项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第二滚轮轴具有中心线,并且该第三片及第四片约在包含第二滚轮轴之中心线之平面彼此邻接。11.如申请专利范围第10项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第二驱动机构包括一附着至至少该第二滚轮轴之一之皮带轮,及一供驱动该皮带轮之皮带轮皮带。12.如申请专利范围第10项之用于净室之可滑动滚轮运送器,其中该第二驱动机构包括一附着至至少第二滚编轴之一之链轮,及一供驱动该链轮之链。图式简单说明:第一图为本发明之第一实施例之侧视图。第二图为第一图之视图,驱动机构之数部份露出。第三图为第二图沿3-3线所取之剖面图。第四图为第三图之顶部之放大图。第五图为滚轮轴密封片70及72之一部份之侧视图。第六图为以剖面图所示本发明第二实施例之视图,相似于第三图之剖面图。第七图为第五图之顶部之放大图。第八图为与第六图者相似,本发明第三实施例之视图。 |
