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发明名称 Process for depositing a layer of material on a substrate and a plating system
摘要
申请公布号 SG71111(A1) 申请公布日期 2000.03.21
申请号 SG19980000893 申请日期 1998.04.30
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 SIMPSON CINDY REIDSEMA;HERRICK, MATHEW, T.;EHTERINGTON, GREGORY, S.;LEGG JAMES DEREK
分类号 C25D7/00;C25D5/00;C25D7/12;C25D17/00;H01L21/288;(IPC1-7):C25D7/12;C25D17/12 主分类号 C25D7/00
代理机构 代理人
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