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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SILIZIUMEINKRISTALLES MIT NIEDIGER FEHLERDICHTE
摘要
申请公布号 DE69604235(T2) 申请公布日期 2000.03.16
申请号 DE19966004235T 申请日期 1996.06.03
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 TAKANO, KIYOTAKA;KITAGAWA, KOUJI;IINO, EIICHI;KIMURA, MASANORI;YAMAGISHI, HIROTOSHI;SAKURADA, MASAHIRO
分类号 C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06;C30B33/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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