发明名称 METHOD FOR FORMING A METAL WIRE OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR20000014551(A) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19980034035 申请日期 1998.08.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 TAK, SU-YOUNG
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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