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经营范围
发明名称
EXPOSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100250153(B1)
申请公布日期
2000.03.15
申请号
KR19970060596
申请日期
1997.11.17
申请人
SAMSUNG TECHWIN CO.,LTD.
发明人
KIM YOUNG JUN
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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