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发明名称 PROCESSING APPARATUS IN LOW PRESSURE AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 KR100246115(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19930013002 申请日期 1993.07.10
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED;MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 UETA, YASUHIRO;DAKAHASHI, HIRONARI
分类号 C30B25/14;G01M3/22;G01N1/00;G01N30/72;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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